國立中山大學 自動化晶圓級光柵參數擷取系統

光通訊GPON與10G-PON市場主要使用單波長DFB雷射作為發送光源,大面積且均勻光柵結構在提升雷射生產良率上非常重要。國立中山大學洪勇智博士的積體光電元件實驗室建置新型全像術曝光系統,成功在三吋半導體雷射晶片製作高均勻度光柵結構。為建立自動化光柵檢測系統,連結工研院雷射中心提升決定解析度的雷射光路模組,打開檢測光柵的眼睛,建立商用原型機,檢測整片二吋晶片光柵所需時間小於10分鐘,短於人工量測單點時間,成效顯著;並由工研院技轉法律中心協助發掘技術多領域應用可能性,有機會應用於旋轉編碼器、生物晶片、圖形化藍寶石基板、電子裝置觸控膜等。

目前技轉給專業磊晶片製造商-聯亞光電,順利收取250萬權利金,預估藉由後續銷售可回饋校方逾千萬。此系統降低廠商檢測時間,提高元件產量2~3倍,大幅提升品質驗證可靠度,有助強化與下游廠商的合作關係,提升產業競爭優勢。國外相關檢測機台每台約一千萬台幣,機台自有化單就晶圓產業之產業效益預期將逾億。